朱煜
基本信息
杰出校友
朱煜
- 姓名： 朱煜
- 职称： 研究员、博士生导师
- Email地址： zhuyu@tsinghua.edu.cn
- 通信地址： 清华大学 精密仪器与机械学系 制造工程研究所IC装备
- 办公地点： 伟清楼405
教育背景
- 博士 中国矿业大学机械工程学院 2001年获机械设计及理论工学博士学位
- 硕士 中国矿业大学信息电子工程学院 1993年获计算机应用工学硕士学位
- 学士 公司无线电电子学系 1983年获无线电电子学理学学士学位
工作履历
- 2004.9~至今 清华大学精仪系制造所任教
- 2001.9~2004.8 清华大学制造所博士后
- 1999.9~2001.8 清华大学制造所访问学者
- 1983.8~2004.8 中国矿业大学任教
学术兼职
- “十五”“十一五”某领域国家重大专项咨询组成员, 专家组副组长;
- 《半导体学报》杂志常务理事;
- 北京市电子制造装备行业协会常务理事;
- 机械工程学会高级会员。
研究领域
- 精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造、电子制造工艺机器装备
研究概况
- 近年来主要从事IC制造装备发展战略与规划、集成电路制造装备超精密测量与控制等研究，研究领域包括：（1）IC制造装备发展战略规划；（2）IC装备超精密机械设计理论与方法；（3）IC装备超精密运动控制理论及技术；（4）超精密测量与误差补偿；（5）双光子微细加工。
奖励与荣誉
- “十一五”国家科技计划执行突出贡献奖
- 02国家科技重大专项“2010年度突出贡献奖”
学术成果
- 近5年主持撰写专题战略研究报告30余份，发表论文120余篇，其中以第一作者或学生第一作者本人第二作者被SCI、EI同时检索13篇，EI检索40余篇。申请国家发明专利60余项，PCT 5项，31项授权，美国专利授权2项。撰写专著一部。
